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학술대회자료
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김현미 (한국세라믹기술원) 심광보 (한양대학교) 최균 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국추진공학회 한국추진공학회 학술대회논문집 한국추진공학회 2017년도 제49회 추계학술대회 논문집
발행연도
2017.11
수록면
88 - 89 (2page)

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2018

TaCl<sub>5</sub>-C<sub>3</sub>-H<sub>6</sub>-H<sub>2</sub> 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석
김현미 ,  최균 ,  심광보 외 2명 한국재료학회지 2018.01 학술저널

2017

TaC CVD 공정의 열역학적 해석 및 공정 개선에 관한 연구
김현미 ,  심광보 ,  최균 한국추진공학회 학술대회논문집 2017.11 학술대회자료

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#Ultra-high temperature ceramics(초고온 세라믹스) #Chemical vapor deposition(화학기상증착법) #Tantalum carbide(탄화 탄탈륨) #Thermodynamic calculation(열역학 계산)

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접촉전도와 반투명 복사가 반도체 웨이퍼의 CVD 공정 중 열전달에 미치는 영향
윤용석 ,  홍혜정 ,  송명호 대한기계학회 논문집 B권 2008 .02

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