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저자정보
김선우 (경남대학교) 김종범 (경남대학교) 김재환 (경남대학교) 김래형 (경남대학교) 류재용 (경남대학교)
저널정보
한국대기환경학회 한국대기환경학회지(국문) 한국대기환경학회지 제33권 제4호
발행연도
2017.8
수록면
326 - 332 (7page)
DOI
10.5572/KOSAE.2017.33.4.326

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

SF₆의 플라즈마 분해로부터 생성된 입자상 물질에 관한 연구
김선우 ,  김종범 ,  김재환 외 2명 한국대기환경학회 학술대회논문집 2017.11 학술대회자료
SF₆의 플라즈마 분해로부터 생성된 입자상 물질에 관한 연구
김선우 ,  김종범 ,  김재환 외 2명 한국대기환경학회지(국문) 2017.08 학술저널

초록· 키워드

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SF₆(sulfur hexafluoride) gas has an extremely high global warming potential (GWP). Therefore, there has been an effort to reduce of SF₆ its emission into atmosphere. In this study, SF₆ was injected into the plasma reactor directly, decomposed particulate matter of SF₆ was analyzed. Destruction and removal efficiency (DRE) of SF₆ were tested with varying degrees of plasma power and initial concentrations of SF₆(1,000 ppm). This study is conducted with plasma power which are 4.4 ㎾, 5.5 ㎾, 6.0 ㎾, 6.6 ㎾, 7.6 ㎾, 8.1 ㎾ and 9.1 ㎾. It was confirmed through experiment that the decomposition efficiency of SF₆ is 100% at 7.6 ㎾ of the plasma power. In addition, the particulate matter is formed as minute particles of which size is 1 μm and the main component of particulate matter is identified as AlF₃.
#SF₆ decomposition #Thermal plasma #Particulate #Global warming

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
IPCC (2007) Climate Change 2007: Synthesis Report. Contribution of Working Group Ⅰ, Ⅱ and Ⅲ to the Fourth Assessment Report of the Itergovernmental panel Panel on Climate Change [Core Writing Team, Pachauri, R.K and Reisinger, A. (eds.)]. IPCC, Geneva Swizerland, 104. Jeon, S.-C., D.-Y. Kong, D.-S. Pyo, H.-Y. Choi, C.S. Cho, B.-H. Kim, and J.-H. Lee (2012) A Study on Etching of Si3N4 Thin Film and the Exhausted Gas Using C3F6 Gas for LCD Process, Journal of the Korean Vacuum Society, 21, 199-204. John, F.-M., F.-S. William, E.-S. Peter, and D.-B. Kenneth (1992) A Reference Book of Standard Spectra for Identification and Interpretation of XPS Data, Physical Electronics Inc., U.S.A., 261. Kim, D.-Y. and D.-W. Park (2008) Decomposition of PFCs by steam plasma at atmospheric pressure, The 6th Asian-European International Conference in Plasma Surface Engineering (AEPSE 2007), 306. Kim, J.-B., J.-Y. Ryu, C.-Y. Choi, S.-H. Jang, and Y.-I. Son (2013) A Study on Destruction Efficiency and Particulate by-products of Sulfur Hexafluoride (SF6) using High Ionization Energy with Oxygen, Water Vapor and Hydrogen, Journal of of Korea Society of Waste Management, 30(8), 870-878.

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