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반도체용 특수가스인 BF3는 반도체 생산공정에서 웨이퍼의 플라즈마 식각 공정과 화학증기증착(CVD : Chemical vapor deposition) chamber 세정공정 등에 사용되며, BF₃ 가스는 boron Ion Implant 공정에서 p-type doping을 위한 원료 등으로 사용된다. 본 연구에서는 간단한 공정으로 NaBF₄ 와 KBF₄의 열분해를 통하여 BF₃ 가스의 생산에 대해서 연구 하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 연구방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - 이상곤 / 1994 / 반도체가스의 방화관리 / 한국화재소방학회 심포지움 및 세미나 : 37 ~ 51
2. [학술지(정기간행물)] - S. Jonas / 1995 / / J. Electrochem. Soc 142 (7) : 2357 ~
3. [학술지(정기간행물)] - N. A. Sezgi / 2001 / CVD of boron and dichloroborane formation in a hot-wire fiber growth reactor / Chemical Engineering and Processing 40 (6) : 525 ~ 530
4. [학술지(정기간행물)] - R. W. J. Westerhout / 1997 / Kinetics of the Low-Temperature Pyrolysis of Polyethene, Polypropene, and Polystyrene Modeling, Experimental Determination, and Comparison with Literature Models and Data / Ind. Eng. Chem 36 (6) : 1955 ~ 1964
5. [학술지(정기간행물)] - Y. Liu / 2000 / Pyrolysis of polystyrene waste in a fluidized-bed reactor to obtain styrene monomer and gasoline fraction / Fuel Processing Technology 63 (1) : 45 ~ 55
2. [학술지(정기간행물)] - S. Jonas / 1995 / / J. Electrochem. Soc 142 (7) : 2357 ~
3. [학술지(정기간행물)] - N. A. Sezgi / 2001 / CVD of boron and dichloroborane formation in a hot-wire fiber growth reactor / Chemical Engineering and Processing 40 (6) : 525 ~ 530
4. [학술지(정기간행물)] - R. W. J. Westerhout / 1997 / Kinetics of the Low-Temperature Pyrolysis of Polyethene, Polypropene, and Polystyrene Modeling, Experimental Determination, and Comparison with Literature Models and Data / Ind. Eng. Chem 36 (6) : 1955 ~ 1964
5. [학술지(정기간행물)] - Y. Liu / 2000 / Pyrolysis of polystyrene waste in a fluidized-bed reactor to obtain styrene monomer and gasoline fraction / Fuel Processing Technology 63 (1) : 45 ~ 55
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