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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.11
- 수록면
- 176 - 178 (3page)
이용수
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NIL 기술은 공정의 고속화 및 대면적화를 통한 대량생산 기술로의 전환하고 있다. UV-NIL의 경우 비 진공환경에서 공정이 가능하다면 설비비용을 낮추고 공정시간을 단축하는데 큰 기여를 할 수 있다. 그러나 이 경우 시급한 문제는 기포(Bubble)결함을 해결하는 것이다. 즉 비 진공환경에서는 공정 중 공기의 유입에 의해 패턴에 기포결함이 발생 ... 전체 초록 보기
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