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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제12권 제4호
발행연도
2011.4
수록면
1,509 - 1,514 (6page)

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IT 제품의 핵심 전자부품에는 MLCC, chip inductors, chip Varistors 등이 있다. chip의 전기적 특성을 검사하 기 위해 리노핀을 이용한 접촉검사 방식이 사용되고 있다. 리노핀을 이용한 칩 검사에 고속으로 구동할 수 있는 Actuator가 필요하다. 그 중 PZT Actuator는 압전소자를 이용한 마이크로 Actuator의 하나로 높은 분해능 및 좋은 응 답성 그리고 큰 힘을 낼 수 있는 장점을 가지고 있다. 하지만 진동변위가 매우 작다는 단점이 있다. 그래서 이러한 단점을 극복하기 위하여 변위 증폭구조를 설계하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 따라서 본 논문에서는 유연힌지를 이용한 지레구조 증폭기구를 설계하였으며, 반도체칩 검사장비 산업분야에서 성능검사 및 전기적 특성을 측정할 수 있는 리노핀용 고속구동 Actuator 시스템을 개발하였다.
#Chip test #PZT Actuator #Mechanical amplifier

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참고문헌 (8)

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1. [학술지(정기간행물)] - 서영호 / 2004 / 수평방향 변위증폭을 위해 U-형상의 PZT 스트립과 지렛대 구조를 이용한 압전구동형 액추에이터의 설계, 제작 및 실험 / 대한기계학회논문집 A 28 (12) : 1937 ~ 1941 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 김준식 / 2004 / 반도체 소자의 DC 특성 검사용 회로설계에 관한 연구 / 조명.전기설비학회논문지 18 (1) : 105 ~ 114 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - Y.G Lee / 2008 / Design of Compliant Mechanical Amplifier for PZT actuator / KSPE : 801 ~ 802 dbpia 4. [기타자료] - Lobontiu, Nicolae / 2002 / Compliant Mechanisms :Design of Flexure Hinges : 90 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - D.W Yun / 2005 / A study of high percision retation actuator using PZT / KSME : 1367 ~ 1368 google schola

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