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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.10
- 수록면
- 1,007 - 1,012 (6page)
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되먹임 회로로 제어하는 새로운 Michelson형 레이저 간섭계를 제작하여 특성을 평가하였다. 새로운 Michelson형 레이저 간섭계는 압전 특성이 잘 알려진 PZT에 인가된 되먹임 회로의 인가전압을 직접적으로 측정함으로써 미세변위를 측정할 수 있는 간편한 측정 장치이다. 본 연구에서 제작한 Michelson형 레이저 간섭계의 신뢰성과 정밀도를 평가하기 위하여 실리콘 membrane의 단차를 측정한 결과 SEM으로 관찰한 값과 잘 일치함을 알 수 있었다.
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1. [학술지(정기간행물)] - H. Chiriac / 2000 / Linear variable differential transformer sensor using glass-covered amorphous wires as active core / J. Mag. Mag. Mat 215 : 759 ~ 761
2. [학술지(정기간행물)] - T. Meydan / 1992 / Linear variable differential transformer (LVDT): linear displacement transducer utilizing ferromagnetic amorphous metallic glass ribbons / Sensors and Actuators 32 (1) : 582 ~ 587
3. [학술지(정기간행물)] - L. Santinacci / 2005 / AFM scratching and metal deposition through insulating layers on silicon / Surface Science 597 : 11 ~ 19
4. [학술지(정기간행물)] - D.G. Chetwynd / 1996 / A controlled-force stylus displacement probe / Precision Engineering 19 : 105 ~ 111
5. [학술지(정기간행물)] - V.K. Chhaniwal / 2004 / Measurement of diffusion coefficient of transparent liquid solutions using Michelson interferometer / Optics and Lasers in Engineering 42 : 9 ~ 20
2. [학술지(정기간행물)] - T. Meydan / 1992 / Linear variable differential transformer (LVDT): linear displacement transducer utilizing ferromagnetic amorphous metallic glass ribbons / Sensors and Actuators 32 (1) : 582 ~ 587
3. [학술지(정기간행물)] - L. Santinacci / 2005 / AFM scratching and metal deposition through insulating layers on silicon / Surface Science 597 : 11 ~ 19
4. [학술지(정기간행물)] - D.G. Chetwynd / 1996 / A controlled-force stylus displacement probe / Precision Engineering 19 : 105 ~ 111
5. [학술지(정기간행물)] - V.K. Chhaniwal / 2004 / Measurement of diffusion coefficient of transparent liquid solutions using Michelson interferometer / Optics and Lasers in Engineering 42 : 9 ~ 20
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