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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.6
- 수록면
- 270 - 272 (3page)
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코발트 실리사이드는 낮은 전기 저항성 때문에 고효율 소자를 제조하는데 적합한 물질이다. 이는 전자소재가 소형화되면서 접촉저항과 혼합을 줄이기 위해 더욱 필요하게 되었다. 본 연구에서는 티타늄의 표변산화에 미치는 영향과, RTO 조건에서 온도에 따른 코발트 실리사이드 박막의 산화정도를 측 ... 전체 초록 보기
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[학술지(정기간행물)] - K.Maex / 1993 / Mater. Sci. Eng 11 : 53 ~
[학술지(정기간행물)] - T.Tamazaki / 1993 / Dig.Int. Electron Devices Meet
[학술지(정기간행물)] - M.Mo / 2002 / Eng. Chem 8 : 437 ~
[학술지(정기간행물)] - D.K.Sohn / 1998 / Appl. Phys. Lett 73 : 2302 ~
[학술지(정기간행물)] - H.H.Berger / 1996 / J. Electrochem. Soc 143 : 115 ~
[학술지(정기간행물)] - T.Tamazaki / 1993 / Dig.Int. Electron Devices Meet
[학술지(정기간행물)] - M.Mo / 2002 / Eng. Chem 8 : 437 ~
[학술지(정기간행물)] - D.K.Sohn / 1998 / Appl. Phys. Lett 73 : 2302 ~
[학술지(정기간행물)] - H.H.Berger / 1996 / J. Electrochem. Soc 143 : 115 ~
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