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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제4권 제4호
발행연도
2003.12
수록면
341 - 345 (5page)

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ZnWO₄는 높은 품질계수에 의해 주파수 선택성이 뛰어나지만 다층형태의 고주파 무선부품으로의 응용을 위해서는 높은 소결온도(1100℃),큰 옴의 공진주파수 온도계수(-7Oppm/℃), 낮은 유전율(15.5) 등에 대한 보정이 필요하다. 본 연구에서 는 ZnWO₄에 TiO₂ 및 LiP를 첨가하여 ZnWO₄의 저손실특성을 유지하면서 주파수 용도안정성 및 저온소결성을 부여하고자 하였다. 큰 양의 공진주파수 온도계수(+400ppm/℃) 및 유전율(100)을 갖는 TiO₂의 첨가는 공진주파수 온도계수를 음의 값에서 양의 값으로 변화시켰으며 증가를 가져왔다. TiO₂를 20 mol% 첨가한 경우 공진주파수 용도계수가 0에 가깝고 유전율 19.4에 품질계수 50000㎓의 특성을 얻을 수 있었으나 소결온도는 1100℃로 높은 소결온도를 보였다 ZnWO₄에 TiO₂가 첨가된 혼합체에 LiP익 첨가는 액상형성에 의해 소결용도를 1100℃에서 850℃로 크게 저하시킬 수 있었다. LiF는 첨가는 LiP 자체의 큰 공진주파수 용도계수에 의해 온도계수를 음의 값으로 변화시켰다. 따라서, TiO₂ 및 LiF의 적당향의 첨가는 온도 안정성을 갖는 저손실 ZnWO₄-TiO₂-LiF계 LTCC(Low Temperature Cofired Ceramics)소재를 제조할 수 있었다.
#Microwave dielectric properties #TiO₂ #ZnWO₄ #LTCC #LiF

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