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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박경조 (전남대학교) 김정엽 (전남대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제41권 제8호 (통권 제383호)
발행연도
2017.8
수록면
745 - 750 (6page)

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본 연구에서는 두께 12μm의 구리박막에 대한 인장시험을 수행하였으며, 변위 측정은 디지털이미지를 기반으로 한 디지털이미지상관법을 이용하였다. 일반적인 디지털이미지상관법에서 시험편 표면의 큰변형으로 인해 변형률계산에 큰 오차가 발생하는 문제점을 개선하여, 시험편 전영역에 걸쳐 정밀하게 변형률을 계산할 수 있었으며 직접 시험편의 표면에서 변형률을 정확하게 측정할 수 있었다. 계산된 시험편 표면의 변형률 분포는 일반적인 벌크소재의 시험편에서와는 달리 전체적으로 균일하지가 않고 그 변화폭이 매우 크며, 항복응력이하의 탄성범위에 있는 경우에도 변형률분포는 균일하지 않다. 이것은 구리박막의 전해증착 제조공정에서 발생한 시험편의 거칠기가 비교적 큰 영향을 준 것으로 판단된다.
#Tension Test(인장시험) #Copper Thin Films(구리박막) #Digital Image Correlation(DIC, 디지털이미지 상관) #Large Deformation(큰변형)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 시험 및 측정
3. 변형률 측정
4. 시험결과 및 검토
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
Weihs, T. P., Hong, S., Bravman, J. C. and Nix, W. D., 1988, Mechanical Deflection of Cantilever Microbeams: a New Technique for Testing the Mechanical Properties of Thin Films, J Mater Res, Vol. 3, pp. 931~942. Schweitz, J. A., 1992, Mechanical Characterization of Thin Films by Micromechanical Techniques, MRS Bull, XVII, pp. 34~45. Bromley, E. I., Randall, J. N., Flanders, D. C. and Mountain, R. W., 1983, A Technique for the Determination of Stress in Thin Films, J Vac Sci Technol B, Vol. 1, pp. 1364~1366. Tsuchiya, T., Tabata, O., Sakata, J. and Taga, Y., 1998, Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films, J Microelectromech Syst, Vol. 7, pp. 106~113. Sharpe, W. N., Yuan, B. and Edwards, R. L., 1997, A New Technique for Measuring the Mechanical Properties of Thin Films, J Microelectromech Syst, Vol. 6, pp. 193~199.

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