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학술대회자료
저자정보
박상훈 (고려대학교) 백준걸 (고려대학교) 김성식 (고려대학교)
저널정보
한국경영과학회 한국경영과학회 학술대회논문집 한국경영과학회 2009년 춘계공동학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
706 - 712 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

반도체 공정의 효율적인 제어를 위한 Adaptive-MPC 알고리듬
박상훈 ,  백준걸 ,  김성식 한국경영과학회 학술대회논문집 2009.05 학술대회자료
반도체 공정의 효율적인 제어를 위한 Adaptive-MPC 알고리듬
박상훈 ,  백준걸 ,  김성식 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2009.05 학술대회자료

초록· 키워드

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나노 공정은 초미세 공정으로서, 공정에 관여되는 요소들의 작은 변화에도 큰 영향을 받는다, 나노 공정에서 방해요인(Disturbance)이 발생하는 원인은 이전공정의 가공 상태, 공정 진행시 설비의 상태, 외부의 환경변수(기압/진동/온도)등 무수히 많은 복합적인 요소들이 관여된다. 이러한 모든 미세한 요소를 공정의 모델에 반영하거나 예측하는 것은 현실적으로 불가능 하다. 때문에 대부분의 초미세 공정에서는 예측할 수 없는 Disturbances가 지속적으로 발생한다. 본 연구에서는 지속적으로 예측할 수 없는 방해요인(Disturbances)이 발생하는 경우 이를 효율적으로 제어할 수 있는 Adaptive Model Predictive Control(AMPC) 알고리듬을 제안한다. 본 연구에서 제안한 AMPC 알고리듬은 기존의 MPC알고리듬에 EWMA(Exponentially Weighted Moving Average)기법을 이용하여 예측이 불가능한 Disturbances를 보정하는 방식을 이용한다. AMPC알고리듬의 성능평가를 위하여 기존에 제안된 방법인 EWMA, MPC등과 비교 실험을 수행하였다.

목차

Abstract
1. 연구배경
2. 기존연구
3. AMPC 알고리듬
4. 실험
4. 실험결과
5. 결론 및 추후 연구
참고문헌

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