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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
박시저 (고려대학교) 박정술 (고려대학교) 백준걸 (고려대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2010년 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
819 - 825 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

정규분포를 따르지 않는 비선형 데이터를 위한 모델기반 이상탐지
박시저 ,  박정술 ,  백준걸 한국경영과학회 학술대회논문집 2010.06 학술대회자료
정규분포를 따르지 않는 비선형 데이터를 위한 모델기반 이상탐지
박시저 ,  박정술 ,  백준걸 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2010.06 학술대회자료

초록· 키워드

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반도체 생산공정은 제품의 원하는 품질수준을 위해서 안정적이어야 한다. 반도체 생산 공정이 미세화, 고집적화 되어감에 따라 공정의 안정을 위한 노력이 커지고 있다. 공정이 안정화되기 위해서는 생산공정의 변동을 줄이는데 지속적인 주의가 필요하다. 최근의 반도체 생산공정은 측정 장비의 발달로 인해 실시간으로 많은 양의 데이터를 관측할 수 있게 되었으며, 이로 인하여 보다 정교한 관리, 제어가 이루어 질 수 있게 되었다.
대부분의 미세 공정에서 사용되는 공정제어 기술은 FDC(Fault Detection Classification), R2R(Run to Run) 크게 두 가지로 요약된다. FDC기법은 공정의 이상상황을 탐지하여 통계적으로 공정이 기존의 상태와 같지 않다고 판단되면 이를 공정제어에 반영하는 기법이다. R2R 기법은 공정이 매번 진행될 때마다 공정의 결과를 Feedback하여 다음 공정에 반영하는 기법으로 정밀한 제어가 필요한 공정에 대부분 사용되고 있다.
FDC는 SPC(Statistical Process Control)를 기반으로 한다. 하지만 SPC는 복잡한 공정의 제어가 불가능하며 T<SUP>2</SUP>차트는 다변량을 고려하였음에도 불구하고 효과적으로 공정을 제어하지 못하는 문제점이 있다. 따라서 본 연구에서는 새로운 이상탐지 기법을 제안한다.
본 연구에서 제안하는 방법은 비정규분포 데이터의 이상탐지를 위한 Model Based Fault Detection 이다. R2R에서 사용되는 MPC기법을 이용하여 이상을 탐지한다.

목차

Abstract
1. 서 론
2. 본 론
3. 실 험
4. 결론 및 추후연구
Acknowledgement
Reference

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