FEM(Finite Element Method)를 이용한 CMP(Chemical Mechanical Process) 공정 시뮬레이션과 Run-to-Run 제어 기법에 관한 연구

박정술; 박승환; 백준걸; 김성식

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저자정보: 박정술 (고려대학교) 박승환 (고려대학교) 백준걸 (고려대학교) 김성식 (고려대학교)

저널정보: 한국경영과학회 한국경영과학회 학술대회논문집 한국경영과학회 2009년 춘계공동학술대회 논문집

발행연도: 2009.5

수록면: 697 - 705 (9page)

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2009

FEM(Finite Element Method)를 이용한 CMP(Chemical Mechanical Process) 공정 시뮬레이션과 Run-to-Run 제어 기법에 관한 연구

박정술 , 박승환 , 백준걸 외 1명 한국경영과학회 학술대회논문집 2009.05 학술대회자료

FEM(Finite Element Method)를 이용한 CMP(Chemical Mechanical Process) 공정 시뮬레이션과 Run-to-Run 제어 기법에 관한 연구

박정술 , 박승환 , 백준걸 외 1명 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2009.05 학술대회자료

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본 논문에서는 FEM(Finite Element Method)을 이용하여 CMP(Chemical Mechanical Process) 공정을 시뮬레이션하고 이를 활용한 R2R(Run to Run) 제어기법을 제안한다. 기존 연구들은 R2R 제어 기법에 대한 검증 과정에 있어서 단순 회귀방정식 모델을 활용한 몬테카를로 시뮬레이션 기법을 활용하였으나 본 논문에서는 FEM을 이용하여 CMP공정의 물리적, 화학적 특징을 보다 정확히 반영할 수 있는 시뮬레이션을 활용한다. 또한, R2R 제어기법은 비선형 다변량 모델 및 재귀적 모델 업데이트를 특징으로 하는 제어 기법으로써 제어점의 값을 찾는데 Levenberg-Marquardt 기법을 활용하고 모델 업데이트에는 Extended Kalman Filter를 활용한다. 또한 CMP공정 시뮬레이션을 활용하여 기존의 R2R 제어 기법들과 성능 비교를 통해 본 연구에서 제안한 제어기법의 우수성을 검증한다.

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