DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 비정질 IZO와 결정질 ITO박막의 열전 특성

변자영; 김서한; 송풍근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 변자영 (부산대학교) 김서한 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016년도 한국표면공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2016.11

수록면: 159 - 159 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2017

비정질 산화물 반도체 IZO, IZO:Sn 박막의 열전 특성에 관한 연구

변자영 재료공학과 2017.01 학위논문

2016

DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 비정질 IZO와 결정질 ITO박막의 열전 특성

변자영 , 김서한 , 송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.11 학술대회자료

DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 IZO 및 ITO 박막의 열전 특성

변자영 , 김주은 , 유기태 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.05 학술대회자료

마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 Sn doped IZO 박막의 열전 특성

변자영 , 송풍근 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

2015

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성

변자영 , 송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015.11 학술대회자료

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성

변자영 , 송풍근 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

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변자영

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논문수 7 이용수 250

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소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 자연과학 > 물리학

논문수 45 이용수 1,588

송풍근

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 178 이용수 10,237

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마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 Sn doped IZO 박막의 열전 특성

변자영 , 송풍근 한국진공학회 학술발표회초록집 2016 .02

반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 박막의 전기적 특성 평가

김민제 , 정재헌 , 송풍근 한국표면공학회지 2014 .12

마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구

정재혜 , 이성훈 , 윤정흠 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .02

반응성 스퍼터링으로 제조한 ITO 초박막의 후 열처리에 따른 고 결정화

이호윤 , 김서한 , 송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018 .06

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