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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
최규진 (충남대학교) 윤진원 (충남대학교) 유상석 (충남대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제40권 제10호 (통권 제373호)
발행연도
2016.10
수록면
629 - 636 (8page)

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미세 회로 기판 제조에 적용되는 습식공정 중 도금조에서 미세 기판의 정밀한 가공을 위해 산성용액 반응조 내부의 유동특성을 관찰하는 것이 중요하다. 하지만, 상용 유속계 중 내산성을 갖춘 센서가 거의 없어 측정이 매우 어렵다. 본 연구에서는 내산성을 갖는 압저항 센서에 신호처리 기술을 적용하여 유속을 측정할 수 있는 센서를 개발하였다. 상용유속계 수준의 유속데이터 획득을 위해서는 높은 임피던스를 갖는 압저항 센서에 증폭회로 및 저역통과필터를 부착하였으며, 이 때 사용되는 신호처리회로의 출력과 상용유속계의 출력이 일치되도록 하는 신호처리회로의 선정을 위해 Butterworth, Bessel, Chebyshev 필터 회로를 제작하여 유속 측정을 통해 출력을 상용유속계의 출력과 비교한 결과 0.0128 %, 0.0023 %, 5.06 %의 MSE를 확인할 수 있었다. 인가 유속을 변경하면서 내산성 센서의 측정 가능 영역을 확인해 본 결과, 저속 저압 구간에서는 신호와 노이즈 구분이 어려워 신호 처리 알고리즘을 적용해도 원하는 결과를 얻지 못하였고, 2~6 ㎧에서 2.7 % 미만의 오차를 갖는 신뢰성 있는 측정이 가능하였다.
#PCB(인쇄회로기판) #Acid Resistance(내산성) #Velocity Sensor(유속센서) #Signal Processing(신호처리) #Active Filter(능동필터)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
[기타자료] - Choi, K. M. / 2005 / Wet Process Facility and Wet Process Method, KR Patent 10-2005-0025326 google schola [학위논문] - Lee, S. W. / 2015 / Correlation of Current Carrying Capacity with Fusing Current on PCB-Trace / Kyungki Univ google schola [학술지(정기간행물)] - Garich, H. / 2007 / Developement and Characterization of Plating Cell Geometry for Printed Circuit Board and Packaging Applications / ECS Transactions 3 (16) : 1 ~ 10 google schola [학술지(정기간행물)] - Ritter, G. / 2000 / Two- and Three-dimensional Numerical Modeling of Copper Electroplating for Advanced ULSI Metalization / Solid-State Electronics 44 : 797 ~ 807 google schola [학술지(정기간행물)] - Litovka, Y. V. / 2006 / Numerical Calculation of the Electric Field in an Electroplating Bath with Bipolar Electrodes / Theroetical Foundations of Chemical Engineering 40 (3) : 328 ~ 334 google schola

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