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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국지능시스템학회 INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS Vol.16 No.3
- 발행연도
- 2016.9
- 수록면
- 208 - 215 (8page)
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The lithography hotspot detection process is crucial for semiconductor design development process. But, the lithography hotspot detection using optical simulation method takes much time and it slowdown the layout design development cycle. Though the geometry based approach is introduced as an alternative, it still revealed low detection performance and sophisticated framework. To solve this problem, we introduce a deep convolutional neural network based hotspot detection method. Our method made better results in ICCCAD 2012 dataset. To reach this score, we used lots of technical effort to improve the result in addition to just utilizing the nature of convolutional neural network. Inspection region reduction, data augmentation, DBSCAN clustering helped our work more stable and faster.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Proposed Method
3. Experiment Results
4. Conclusion
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
[학술대회논문] - H. Yao / 2006 / Effi-cient process-hotspot detection using range pattern matching / Proceedings of the 2006 IEEE/ACM International Conference on Computer-Aided Design : 625 ~ 632
[학술대회논문] - Y. T. Yu / 2012 / Accurate process-hotspot detection using critical design rule extraction / Proceedings of the 49th Annual Design Automation Conference : 1167 ~ 1172
[학술지(정기간행물)] - Andrew B. Kahng / 2008 / Fast Dual-Graph-Based Hotspot Filtering / IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 27 (9) : 1635 ~ 1642
[학술지(정기간행물)] - Bei Yu / 2015 / Accurate lithography hotspot detection based on principal component analysis-support vector machine classifier with hierarchical data clustering / Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 14 (1) : 011003 ~
[학술대회논문] - Y. T. Yu / 2013 / Machine-learning-based hotspot detection using topological classification and critical feature extraction / Proceedings of the 50th Annual Design Automation Conference : 671 ~ 676
[학술대회논문] - Y. T. Yu / 2012 / Accurate process-hotspot detection using critical design rule extraction / Proceedings of the 49th Annual Design Automation Conference : 1167 ~ 1172
[학술지(정기간행물)] - Andrew B. Kahng / 2008 / Fast Dual-Graph-Based Hotspot Filtering / IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 27 (9) : 1635 ~ 1642
[학술지(정기간행물)] - Bei Yu / 2015 / Accurate lithography hotspot detection based on principal component analysis-support vector machine classifier with hierarchical data clustering / Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 14 (1) : 011003 ~
[학술대회논문] - Y. T. Yu / 2013 / Machine-learning-based hotspot detection using topological classification and critical feature extraction / Proceedings of the 50th Annual Design Automation Conference : 671 ~ 676
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