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학술대회자료
저자정보
이주형 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2016년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2016.6
수록면
969 - 972 (4page)

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Due to a fume which is evaporated from a solvent in a PR(photo resist), the inside is polluted and brings problems. A consistent temperature is required for the uniform film thickness in baking process. Also, an efficient ventilation system is necessary to prevent defect and decrease of productivity because of the fume during the baking. Generally, the ventilation efficiency is evaluated by the nominal time constant which is ratio of ventilation flow rate and inside volume. On the other hand, it is ambiguous for an arbitrary point in manufacturing larger LCD baking chamber. Evaluation of the ventilation efficiency change as a function of guide angle is researched. The flow rate is set as 1000 lpm which is more than 2 times of number of ventilation. The age of air is observed when the guide angles are varied with 30°, 40°, 50°, 60° and without the guide.
#Ventilation(환기) #PR Baking(감광액 경화) #LCD(Liquid Crystal Display) #열처리(Thermal Process) Computational fluid dynamics(전산유체역학)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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