피라니 게이지 구조의 크기와 동작 범위에의 영향 분석

노영욱; 이동진; 조영식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 노영욱 (건국대학교) 이동진 (건국대학교) 조영식 (원광대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.5

수록면: 45 - 45 (1page)

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