Fabrication of nanopatterned cerium oxide fil using nanoimprint lithography

이지혜; 천소희; 정주연; 정준호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이지혜 (한국기계연구원) 천소희 (한국기계연구원) 정주연 (한국기계연구원) 정준호 (한국기계연구원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.5

수록면: 27 - 27 (1page)

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