나노패턴 산화세륨 박막 제조에서 공정변수의 영향

천소희; 이지혜; 김윤갑; 정준호; 정우철

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저자정보: 천소희 (한국기계연구원) 이지혜 (한국기계연구원) 김윤갑 (한국기계연구원) 정준호 (한국기계연구원) 정우철 (한국과학기술원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2015년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2015.12

수록면: 452 - 452 (1page)

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