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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.11
- 수록면
- 2,529 - 2,532 (4page)
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3D high-aspect-ratio (HAR) microstructures for biomedical applications are microfabricated using multidirectional ultraviolet (UV) lithography, which includes a combination of inclined, rotational, and reverse-side exposure processes. The inclined and rotational UV exposure processes are intended to fabricate axisymmetric HAR microstructures; the reverse-side UV exposure process is designed to sharpen an end tip of the microstructures by minimizing UV reflection on a substrate which is inevitable in conventional UV lithography. Our multidirectional UV lithography is characterized using an epoxy-based negative photoresist, SU-8, together with a customized UV exposure system. The effect of multidirectional UV lithography on the geometry of the 3D HAR microstructures (e.g., inclined angle, height, curvature of end tip, etc.) is quantitatively discussed.
목차
Abstract
1. 서론
2. 재료와 방법
3. 실험결과
4. 결론
참고문헌
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