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이소진 (성균관대학교) 김태용 (성균관대학교) 장경수 (성균관대학교) Cam Phu Thi Nguyen (성균관대학교) 김선보 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2016.2
수록면
339 - 339 (1page)

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2017

CO2 플라즈마를 이용한 고균일 초박형 터널산화막이 적용된 비휘발성 메모리 동작 특성향상에 대한 연구
이소진 전자전기컴퓨터공학과 2017.01 학위논문

2016

수소화 처리된 게이트산화막을 이용한 MIS-NVM소자의 memory특성 향상
이소진 ,  김태용 ,  장경수 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료
저온공정 InSnZnO 채널층을 이용한 산화막/산화막/산화막 비휘발성 메모리 소자의 전기적 특성 연구
이소진 ,  Cam Phu Thi Nguyen ,  장경수 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

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#NVM #H2 #NH3 #MIS #게이트산화막

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Improvement of Charge Storage Capacity Using Surface Morphology Engineering in the SiO2/SiOX/SiOXNY MIS-NVM Devices
김태용 ,  김지웅 ,  이준신 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 .08
Improvement the Electrical Properties of ITZO Thin Film Transistors Using an Ultra-thin High Conductivity Layer
김정수 ,  장경수 ,  박희준 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 .02
Improvement of Field Effect Mobility of ITZO TFT with Crystalline ITZO Film
박희준 ,  Jayapal RaJa ,  장경수 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 .02

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