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한국안광학회 한국안광학회지 한국안광학회지 제6권 제1호
발행연도
2001.6
수록면
87 - 91 (5page)

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The a-C:H films have been grown on the glass substrate by PECVD method, where plasma was generated with a 60 Hz line power source. The carbonization is checked from peak intensities of D(sp³) and G(sp²) peaks in Raman spectra and is analyzed using the Gaussian convolution method of spectrum. Both the bonding strength of C-H and the ratio of sp³ to sp² in bonding are found to be slightly dependent of partial pressure of C₂H₂.

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