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장준성 (전남대학교) 김인영 (광주과학기술원) 정채환 (생산기술연구원) 문종하 (전남대학교) 김진혁 (전남대학교)
저널정보
한국태양광발전학회 Current Photovoltaic Research Current Photovoltaic Research (CPVR) Vol.3 No.3
발행연도
2015.9
수록면
101 - 105 (5page)

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ZnO is gathering great interest for large square optoelectrical devices of flat panel display (FHD) and solar cell as a transparent conductive oxide (TCO). Herewith, Mg and IIIA (Al, In) co-doped ZnO films were prepared on SLG substrate using RF magnetron sputtering system. The effect of variation of atomic weight % of Mg and ZnO have been investigated. The atomic weight % Al and In are of 3% and kept constant throughout. The numbers of samples were prepared according to their different contents, which are M<SUB>3%</SUB>AZO<SUB>94%</SUB>, M<SUB>4%</SUB>AZO<SUB>93%</SUB>-(MAZO) and M<SUB>3%</SUB>IZO<SUB>94%</SUB>, M<SUB>4%</SUB>IZO<SUB>93%</SUB>-(MIZO) respectively. A RF power of 225 W and working pressure of 6 m Torr was used for the deposition at 300°C. All of the two thin film show good uniformity in field emission scanning electron microscopy image. M3%AZO94% thin film shows overall better performance among the all. The film shows the best lowest resistivity, carrier concentration, mobility and Sheet resistance and is found to be are of 8.16×10<SUP>-4</SUP>Ωcm, 4.372×10<SUP>20</SUP>/cm<SUP>3</SUP>, 17.5 cm<SUP>2</SUP>/vs and 8.9Ω/sq respectively. Also M<SUB>3% </SUB>AZO<SUB>94%</SUB> thin film shows the relatively high optical band gap energy of 3.7 eV with high transmittance more than 80% in visible region required for the better solar cell performance.
#Transparent conduction oxide #RF magnetron sputter #Solar cell #ZnO #Quaternary compound

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
Masayuki Kamei, Hirotaka Akao, Pung Keun Song, Itaru Yasui, Yuzo Shigesato. Crystallization and Electrical Properties of Doped and Undoped Indium Oxide Films. The Korean Journal of Ceramics. 2000 google schola

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