메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임태우 (카이스트) 양동열 (카이스트)
저널정보
대한설비공학회 설비공학논문집 설비공학논문집 제27권 제10호
발행연도
2015.10
수록면
552 - 557 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
The nanostereolithography process using a femtosecond laser has been shown to have strong merits for the direct fabrication of 2D/3D micro structures. In addition, a femtosecond laser provides efficient tools for precise micromachining owing to the advantages of a small and feeble heat effect zone.
In this paper, we report an effective fabrication process of 3D micro optical and fluidic devices using nanostereolithography process composed of a dual stage system. Process conditions for additive and subtractive fabrication are examined. The Piezo stage scanning system is used for 3D micro-fabrication in unit area of sub-mm scale, and the motor stage is employed in fabrication on the scale of several mm. The misalignment between the pizeo- and motor- stages is revised through rotational transformation of CAD data in the unit domain. Here, the effectiveness of the proposed process is demonstrated through examples using 3D optical and microfluidic structures.
#Femtosecond laser(펨토초레이저) #3D microstructure(3차원 마이크로형상) #Dual Stage(이중스테이지) #Two-photon polymerization(이광자흡수 광경화)

목차

Abstract
1. 서론
2. 나노스테레오리소그래피 공정
3. 이중스테이지 시스템
4. 3차원 마이크로 시스템 제작
5. 결론
References

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

마이크로 3축 피에조 구동 스테이지 개발
최기봉 ,  이재종 ,  김기홍 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 .10
Chevron형의 열구동기가 집적화된 대변형 XY-마이크로스테이지
최영수 ,  이동원 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06
나노부품 초정밀가공기용 마이크로스테이지의 절삭력 예측모델 시뮬레이션
김우진 ,  김재열 ,  문정기 한국트라이볼로지학회 학술대회 2005 .06
대면적 3차원 마이크로 형상제작을 위한 스테이지 스캐닝 시스템을 이용한 이광자 흡수 광조형 공정 개발
임태우 ,  손용 ,  양동열 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008 .01
복합재료 샌드위치 구조를 이용한 공작기계 요소설계
김대일 ,  장승환 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-553-001973474