분무장치 형상 변경을 통한 초음파 열분해 증착 시스템의 증착 성능 개선

김규언; 이재후; 전재건; 박성환; 이치범

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김규언 (Seoul National University of Science and Technology) 이재후 (Seoul National University of Science and Technology) 전재건 (Seoul National University of Science and Technology) 박성환 (Solarceramic) 이치범 (Seoul National University of Science and Technology)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.24 No.4

발행연도: 2015.8

수록면: 469 - 474 (6page)

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In ultrasonic spray pyrolysis deposition, a precursor solution is evaporated by an ultrasonic atomizer, then gas-carried into a furnace where the solute is separated from the water vapor. After condensation, polymerization, and nucleation, the solute oxide forms a thin film. To improve the deposition efficiency, the ultrasonic atomizer was studied to optimize the evaporated gas flow. The vat cover was redesigned, using three versions with different inlet factors being tested through a computational fluid dynamic analysis as well as a water evaporation experiment. The atomization rate with a hemispherical cover with a 30° inlet was found to be 2.4 times higher than that with the original. This improvement was verified with fluorine-doped tin oxide spray pyrolysis deposition. The film obtained with the modified vat cover was 2.4 times thicker than that obtained with the original vat cover.

#Spray pyrolysis deposition #Ultrasonic atomization #Atomization efficiency #Computational fluid dynamics #3D Printer

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[학술지(정기간행물)] - 류도형 / 2007 / 분무열분해법에 의하여 제조한 FTO 투명전도막의 F/Sn 비율에 따른 전기, 광학적 특성과 XPS 분석 / 한국재료학회지 17 (7) : 376 ~ 381

[학술지(정기간행물)] - 정재인 / 2011 / 박막제조 기술의 동향과 전망 / 한국자기학회지 21 (5) : 185 ~ 192

[학술대회논문] - Kim, S. H. / 2014 / Synthesis and Patternign of TiO₂Nanoparticles using Electrospray Systems / Spring Conference of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers : 213 ~ 213

[학술지(정기간행물)] - Dhonge, B. P. / 2011 / Spray Pyrolytic Deposition of Transparent Aluminum Oxide(Al2O3)films / Applied Surface Science 258 (3) : 1091 ~ 1096

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