Investigation of Ar ion-milling rates for ultrathin single crystals

이민희; 김규현

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이민희 (한국생산기술연구원) 김규현 (한국생산기술연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2015년 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2015.5

수록면: 143 - 144 (2page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-581-001780293

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