Development of Digital Vacuum Pressure Sensor Using MEMS Analog Pirani Gauge

Young Seek Cho

Journal of information and communication convergence engineering

2017 .12

피라니 게이지의 유한 요소 전기-열 해석

노영욱 ,  박지은 ,  정하경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

SOI 웨이퍼 기반 초소형 실리콘 나노와이어 압력센서 제조방법

한승주 ,  김강일 ,  김창희 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .11

Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling

심항 ,  송윤흡

대한전자공학회 학술대회

2015 .06

SOI 웨이퍼에 기반한 가스 센서용 실리콘 마이크로 히터 설계

조인철 ,  강경남 ,  박인규

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

차압식 유량계를 실장을 위한 Single Capacitive Type Differential 압력 센서

신규식 ,  송상우 ,  이경일 외 2명

마이크로전자 및 패키징학회지

2017 .01

Fast Median 알고리즘을 사용한 실린더 내부 압력측정용 센서의 정밀도 향상

박계도 ,  조승근 ,  이장명

전자공학회논문지

2021 .03

Silicon-On-Insulator Micro Electro Mechanical Systems with Closed-loop Control of Force and Position

B. J. Koo ,  Y. S. Yang ,  C.W. Lee 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

실리콘 압력센서를 이용한 압력 모니터링 시스템 개발

이영태 ,  권익현

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

독립형 압력센서 모듈을 이용한 온도보상형 통합압력센서 개발

탁효성 ,  박은주 ,  백기봉 외 1명

한국추진공학회 학술대회논문집

2021 .11

고온 공기 가열기 개발 현황 조사 및 고찰

김정우 ,  이정민

한국추진공학회지

2016 .10

고압용 배관 모니터링을 위한 MEMS 압력, 유량, 온도 복합센서 개발

홍윤화 ,  이영준 ,  조종두 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

저전력 MEMS 수소가스 센서 기술 개발

김동구 ,  김현수 ,  유일선 외 2명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2022 .06

재료들의 조합에 따른 유연 압력 센서의 반응성 연구

서동훈 ,  박채영 ,  이인환

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2023 .04

Implementation of an Integrated Pressure-sensor System Adapted to the Optimum Sensitivity

Sung-Hee Hong ,  Chun-Hyung Cho

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2017 .04

고온 공기 가열기 개발 현황 조사 및 고찰

김정우 ,  이정민

한국추진공학회 학술대회논문집

2016 .05

MEMS 센서 기반 고정밀 기울기 모니터링 시스템 설계

손영달 ,  은창수

한국정보통신학회논문지

2019 .11

압력감응센서의 형상에 따른 응답특성 연구

박채영 ,  김호찬 ,  이인환

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

플렉서블/웨어러블 의료용 초감각 센서 기술

김진태 ,  김인규

한국통신학회논문지

2018 .10

표면 가공형 캐비티 압력센서를 이용하여 비전도성 물질용 패키지 기술에 전기적 제어방식 연구

이선종 ,  우종창

전기전자재료학회논문지

2020 .01