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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 Proceedings of the 4th Korea-Japan Joint Symposium on Dynamics and Control
- 발행연도
- 2015.5
- 수록면
- 93 - 96 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
2015
Nano-gap Control Algorithm for Solid Immersion Lens High-Speed Noncontact Near-Field Optical Scanning System
Jung-Gon Kim
대한기계학회 춘추학술대회
2015.05
학술대회자료
Nano-Gap Control Algorithm for Solid Immersion Lens-Based High-Speed Noncontact Near-Field Optical Scanning System
Jung-Gon Kim
대한기계학회 춘추학술대회
2015.05
학술대회자료
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This paper aims to improve the robustness of the nano-gap control algorithm for a solid immersion lens (SIL)-based near-field (NF) optical scanning system against dynamic disturbances, such as external shocks and vibrations. The robust control system is essential in high-speed noncontact NF optical system because the nanoscale gap distance between the SIL and the media is 20 ㎚ or less. Thus, we propose and improved nano-gap control system with a narrow-band disturbance filter (NBDF) using the internal model principle (IMP), which is an effective control method for enhancing the performance of the system for the rejection of repeatable and nonrepeatable disturbances. Moreover, we will demonstrate improved control performance in the NBDF with a double disturbance observer (DOB) upon receiving repeatable and nonrepeatable disturbances.
목차
ABSTRACT
INTRODUCTION
EXPERIMENTAL METHODS
EXPERIMENTAL SETUP AND RESULTS
CONCLUSIONS
REFERENCES
참고문헌 (0)
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