스퍼터링 변수에 따른 SiOxNy 막의 특성 ( The Characteristics of SiOxNy Thin Films Fabricated as a Function of Sputtering Variables )

조승현 ,  정성훈 ,  문동찬 외 1명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

FTS 장치를 이용한 가스 차단막용 SiOx 및 SiOxNy 박막의 공정특성

손진운 ,  손선영 ,  김화민 외 1명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

Field Dependencies of Electronic Trapping and Detrapping Behaviors in Thin SiOxNy Films

B. L. Yang ,  H. Wong ,  Y. C. Cheng 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Enhancement of surface hardness and barrier properties of SiOxNy and nanoclay composite multilayer on plastic substrates for flexible display

김민정 ,  김현기 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

BaTiO3 의 적층방법의 SiOxNy / ZnS : Mu / BaTiO3 교류 구동형 박막전계발광소자의 특성에 미치는 영향

송만호 ,  이윤희 ,  한택상 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Passivation Layers for Organic Thin-film-transistors

이호년 ,  이영구 ,  Ik-Hwan Ko 외 3명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

고속 스퍼터링 공정 기술 연구

김을수 ,  이건환 ,  권식철

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석

현승민 ,  오민섭

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구

송영식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절

이태호 ,  이규한 ,  안진호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

스퍼터링 기술의 발전과 전망

정재인 ,  양지훈 ,  장승현 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

Characteristics of WO3 thin Films fabricated by Reactive Sputtering Method

Chang Kyun Kim ,  Shin Won Kang ,  Sung Ho Hahm 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

DC 스퍼터링을 이용한 시간 변수에 따른 Mo박막의 구조적 특성

김한울 ,  양현훈 ,  이창권 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

반응성 스퍼터링에서 산화 티타늄 박막의 성장 특성

이필홍 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

스퍼터링법에 의한 이중 Cu막의 특성에 관한 연구

金賢植 ,  宋在成 ,  閔馥基 외 2명

전기학회논문지

1997 .03

고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 증착 공정 개발

김종국 ,  이승훈 ,  김창수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01