Laser CVD SiN막에 대한 원료가스와 형성 후처리효과

양지운 ,  홍성훈 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

Micro Gas Sensor의 Membrane용 $SiN_x$막과 $SiN_x/SiO_x/SiN_x$막의 응력과 굴절율

이재석 ,  박준식 ,  박효덕 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

DLTS法에 의한 Laser CVD SiON 膜-si 系의 界面 特性

천영일 ,  김상욱 ,  이승환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

a-Si:H/a-SiN:H 초격자구조의 제작 및 특성 ( Fabrication of a-Si:H/a-SiN:H Superlattices and Its Properties )

박상준 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1992 .06

Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD SiN막의 원료가스와 후처리 의존성

추교섭 ,  류지호 ,  이진우 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성

이장우 ,  박익현 ,  신별 외 1명

공업화학

2005 .01

a-Si : H / a-SiN : H 초격자 구조를 이용한 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of Thin Film Transistors with a-Si : H / a-SiN : H Superlattices )

박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Micro Gas Sensor의 Membrane용 ${SiN}_{x}$막과 ${SiN}_{x}/\textrm{SiO}_{x}/{SiN}_{x}$막의 응력과 굴절율

이재석 ,  신성모 ,  박종완

한국재료학회지

1997 .01

Laser assisted PECVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김천섭 ,  이동희 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

a-Si:H/a-SiN:H 超格子 構造를 이용한 박막트랜지스터의 製造

박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

a-Si : H/a-SiN : H 구조 MODFET의 조성 및 그 특성 ( Fabrication of MODFET with a-Si : H/a-SiN : H Structure and Its Characteristics )

강석진 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1993 .06

Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성

권경환 ,  김영훈 ,  신상우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

폴리우레탄 - 에폭시 SIN 의 반응속도와 물성에 관한 연구

김병선 ,  김성철

폴리머

1990 .02

Characterization of CAST Poly-Si Using DLTS Measurements

In-Gab Hwang

JOURNAL OF KIEE

1994 .09

In-situ SiN 박막을 이용하여 성장한 GaN 박막의 특성 연구

김덕규 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2005 .01

The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching

김영훈 ,  권경환 ,  김태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

DLTS시스템 제작 및 그 응용

정희범 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01