다공질 실리콘을 이용한 저온 산화막의 제조

류창우 ,  심준환 ,  배영호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

다공질 실리콘을 이용한 저온 산화막의제조

류창우 ,  심준환 ,  이정희 외 3명

한국재료학회지

1996 .01

다공질 실리콘의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

박정용 ,  조찬섭 ,  양천순 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

다공질 실리콘 ( Porous Silicon ) 의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

양천순 ,  박정용 ,  이종현

전자공학회논문지

1990 .10

다공질 실리콘의 형성과 특성에 관한 연구

성영권 ,  최복길 ,  김상영

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

다공질 실리콘의 형성과 특성에 관한 연구 ( A Study on the Formation and Properties of Porous Silicon )

성영권 ,  최복길 ,  김상영

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

다공질 실리콘 질화막의 제조 ( Fabrication of Porous Silicon Nitride )

조범무 ,  이용현 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

다공질 실리콘 산화막을 이용한 용량형 습도 센서

민남기 ,  진민석 ,  안광호

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

다공질 실리콘 : 화학 센서로써의 응용

강철구 ,  강문식 ,  진준형 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

전기화학적 처리에 의한 다공질 실리콘 산화막의 형성과 감습 특성

崔福吉 ,  閔南基 ,  柳志澔 외 1명

전기학회논문지

1996 .01

Porous silicon-based chemical and biosensors

김윤호 ,  박은진 ,  최우석 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

다공질 실리콘 산화막의 계면 및 절연파괴 ( Interface and Dielectric Breakdown Characteristics of Oxidized Porous Silicon Films )

최복길 ,  강희복 ,  성영권

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

다공질 실리콘 산화막의 전기전도 및 유전특성

成英權 ,  崔福吉 ,  姜熙福 외 2명

전기학회논문지

1991 .02

실리콘의 다공질화를 이용한 실리콘 전계방출 소자의 제작

김동환 ,  이종덕

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

다공질 실리콘 형성법을 이용한 실리콘 미세기계구조의 제조 ( Fabrication of Silicon Micromechanical Structures using Porous Silicon Technique )

이봉희 ,  조찬섭 ,  이종현

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

전해액의 변화에 따른 다공질 실리콘 형성특성

강문식 ,  강철구 ,  진준형 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

마이크로/나노 다공질 실리콘을 이용한 바이오센서

박은진 ,  진준형 ,  송민정 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

RTO 공정을 이용한 다공질 실리콘막의 저온 산화 및 특성분석

박정용 ,  이종현

전자공학회논문지-SD

2003 .08

초미세 다공질 실리콘 구조의 열적 안정성 연구

박경호 ,  이용일

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11