급속열처리에 의한 금의 확산

정욱진 ,  권영규 ,  김광일 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

고속 열처리 공정기(RTP)의 개요와 연구 동향

도현민 ,  최진영

제어로봇시스템학회지

1998 .07

국외 RTP 사례 분석을 통한 국내 적용 방안 연구

손승현 ,  김원기 ,  김철환

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

RTP 지원을 위한 RTCP 제어 Differentiated Service

강경애 ,  장경성 ,  김병기

한국통신학회 학술대회논문집

1999 .07

RTP 패킷 손실 감소에 관한 연구

서원범 ,  서덕영

한국방송미디어공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11

웨이퍼 온도 균일도를 위한 급속 열공정 (RTP)의 최적화

강새별 ,  오혁근 ,  이준식

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

RTP에 의한 인 고체 확산 소스의 얇은 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on Shallow Junction of Phosphorus Solid Source by RTP Process )

주정규 ,  노병규 ,  이성욱 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

밀폐상태 RTP 시스템으로 제작된 CIGS 흡수층의 특성

조현준 ,  고병수 ,  전동환 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2012 .03

RTP 시스템의 견실 H2 제어기 설계 ( Robust H2 Controller Design of RTP Systems )

이상경 ,  김종해 ,  박홍배

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

RTP에 근거한 패킷 음성 통신시스템의 구현에 관한 연구 ( Implementation of Packet Voice Communication System based on RTP )

서봉수 ,  신병철

한국통신학회 학술대회논문집

1995 .01

리눅스 상에서의 RTP를 통한 음성 통화 시스템 설계

현욱 ,  허미영 ,  강신각

한국통신학회 학술대회논문집

2002 .11

구조적 불확실성 접근을 이용한 RTP 시스템의 견실제어기 설계

이상경 ,  김종해 ,  김해근 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1999 .08

스핀 도핑을 이용한 단결정 실리콘 태양전지 확산 공정 최적화

여인환 ,  박주억 ,  김준희 외 2명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

하중 혼합감도함수를 이용한 RTP 시스템의 H∞ 제어기 설계 ( H∞ Controller Design for RTP System using Weighted Mixed Sensitivity Minimization )

이상경 ,  김종해 ,  오도창 외 1명

전자공학회논문지-S

1998 .06

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

페트리 네트를 이용한 RTP Cell의 모델링 및 시뮬레이션 연구

장종태 ,  유준

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

RTP를 사용한 BN 고체 확산원으로부터의 얇은 P+n 접합 형성 ( P+n Shallow Junction Formation From BN Sources Using RTP )

김경태 ,  조병진 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

미세패턴 성형을 위한 Rapid Thermal Pressing 시스템의 개발

고영배 ,  김흥규 ,  강정진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05