Dopant에 따른 amorphous carbon layer의 etch rate 변화 분석연구

정원준 ,  김동빈 ,  박상현 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Substitutional boron doping of carbon materials

Ha ,  Sumin ,  Choi 외 7명

Carbon letters

2018 .01

Development of Low Damage Dry Etch to Pattern Sub-10 nm with ACL and High-χ BCP mask

오지수 ,  김교운 ,  신예지 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Amorphous carbon layer 증착 중 발생하는 입자의 증착 조건별 특성 분석

김동빈 ,  정원준 ,  문지훈 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

The RIE resistance and film properties of doped amorphous silicon hardmask deposited by PECVD with disilane as the precursor

Sungwoo LEE ,  Jaeyoung YANG ,  Seokhwan KIM 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Amorphous Boron Silicate Oxide를 증착 된 막을 이용한 Boron diffusion layer 분석

심경배 ,  박수영 ,  한상욱 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Effect of Boron Additions on Magnetic Properties of Fe-based Amorphous alloys

Jihye Kim ,  Sumin Kim ,  Bo Kyeong Han 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

Bipolar resistive switching in oxygenated amorphous carbon layer

Da seul Hyeon Gab ,  iel Jang ,  Taeyoon Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰

김동빈 ,  김종호 ,  신재수 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Improving the dielectric reliability using boron doping on solution-processed aluminum oxide

Hyunwoo Kim ,  Nayoung Lee ,  Byoungdeog Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

High-performance type-converted WSe₂/h-BN photodetector enhanced by triphenylphosphine (PPh₃)-based n-type doping

Seo-Hyeon JO ,  Jin-Hong PARK

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Atomic Layer Etching of Tungsten using NF₃/O₂ plasma

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Cation redistribution of piezoelectric ferromagnetic Ga_0.6Fe_1.4O₃ (010) films by Co-doping

김재영 ,  김동환 ,  오설희 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .11

Fermentative Bio-Hydrogen Production of Food Waste in the Presence of Different Concentrations of Salt (Na+) and Nitrogen

이풀잎 ,  이태진

Journal of Microbiology and Biotechnology

2019 .01

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Ar, Kr, Xe / O2 / C4F6 / CH2F2 혼합가스 용량성 결합 플라즈마에서의 산소 유량 증가에 따른 SiO2 및 ACL patterned-wafer 식각

H. J. Yeom ,  Y. S. Lee ,  D. H. Choi 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Raman Spectroscopy for Raman Shift and Intensity Calibration

권혁상

한국분석과학회 학술대회

2019 .11

Raman thermography in graphene on hexagonal boron nitride flake Field-effect transistor

Daehee Kim ,  Hanul Kim ,  Heesuk Rho 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02