음극 아크 증착으로 제작된 AlTiN 박막의 표면형상과 특성

김성환; 양지훈; 정재훈; 송민아; 정재인

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저자정보: 김성환 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 정재훈 (포항산업과학연구원) 송민아 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 266 - 266 (1page)

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