롤압연, 압출, 단조 등 전통 기계가공법의 모사 응용을 통한 다양한 나노패턴의 대면적 연속생산 기술 구현

옥종걸; 곽문규; L. Jay Guo

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자료유형: 학술저널

저자정보: 옥종걸 (Seoul National University of Science and Technology) 곽문규 (Kyungpook National University) L. Jay Guo (University of Michigan)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.24 No.2

발행연도: 2015.4

수록면: 198 - 202 (5page)

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We present a series of simple but novel nanopatterning methodologies inspired by traditional mechanical machining processes involving rolling, pullout, and forging. First, we introduce roll-to-roll nanopatterning, which adapts conventional rolling for continuous nanopatterning. Then, nano-inscribing and nano-channel lithography are demonstrated, whereby seamless nanogratings can be continuously pulled out, as in a pullout process. Finally, we discuss vibrational indentation micro- and nanopatterning. Similarly to the forging/indentation process, this technique employs high-frequency vertical vibration to indent periodic micro/nanogratings onto a horizontally fed substrate. We discuss the basic principles of each process, along with its advantages, disadvantages, and potential applications. Adopting mature and reliable traditional technologies for small-scale machining may allow continuous nanopatterning techniques to cope with scalable and low-cost nanomanufacturing in a more productive and trustworthy way.

#Nano-patterning #Nano-manufacturing #Continuous process #Roll-to-Roll #Mechanical machining process

참고문헌 (8)

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Ok, J. G. / 2013 / Continuous and High-Throughput Nano-patterning Methodologies Based On Mechanical Deformation / J. Mater. Chem. C 1(46):7681~7691

Ok, J. G. / 2012 / Continuous and Scalable Fabrication of Flexible Metamaterial Films Via Roll-to-Roll Nanoimprint Process for Broadband Plasmonic Infrared Filters / Appl. Phys. Lett. 101(22):223102

Resnick, D. J. / 2005 / Step & Flash Imprint Lithography / Materials Today 8:34~42

Ito, T. / 2000 / Pushing the Limits of Lithography / Nature 406(6799):1027~1031

Kwak, M. K. / 2015 / Visually Tolerable Tiling (VTT) for Making Large-area Flexible Patterned Surface / Materials Horizons 2(1)

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