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내장형 및 외장형 마그네트론을 사용하여 증착한 ITO박막의 물성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
3극 마그네트론 스퍼트링 화학 기상 증착법에 의한 도전성 다이아몬드성 탄소 박막의 합성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .11
Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
에미터와 캐소드전극의 본딩 방법이 탄소나노튜브 캐소드의 전계방출 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
RF 마그네트론 스퍼트링법에 의해 제조된 ATO 박막의 전기적 및 광학적 특성
한국안광학회지
2010 .12
임펠러 입/출구각 변화에 따른 스퍼트 펌프의 성능특성 연구
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2017 .07
마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 열처리 공정에 따른 미세구조 및 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
마그네트론 전원장치 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .10
반응성 스퍼트링으로 형성된 ITO의 유전체 소성에 따른 특성변화
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
915㎒ 30㎾ 마그네트론 시험을 위한 측정 장비
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
스퍼트링 방법으로 증착된 투명전극용 AZO의 구조적 특성
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .06
마그네트론 스퍼터링 효율 향상을 위한 시뮬레이션 기반 자기장 설계
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 방향성을 지닌 $SrTiO_3$ 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
벤드 캐소드
한국표면공학회지
1975 .10
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Al-Ni Nano-foils 박막의 제조 및 미세구조 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
솔-젤 공정을 통한 고유전 박막 제조 및 특성 평가
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2008 .10
상압에서 제조한 포토캐소드의 전자방출 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2014 .01
Manufacturing of Cs3Sb Photocathode in Atmospheric Conditions
전기전자재료학회논문지
2014 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
RF 마그네트론 스퍼터로 제조한 투명전극용 AZO 박막의 특성
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2005 .01
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