Molecular Resists Based on t-Butyl Cholate Derivatives for 193-nm Photoresists

김진백; 오태환; 권영길

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김진백 오태환 권영길

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2002년도 추계학술대회 연구논문 초록집

발행연도: 2002.10

수록면: 214 - 214 (1page)

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