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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.2
- 수록면
- 119 - 124 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2015
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반도체 생산에 사용되는 액체용 극소 질량유량계측기의 새로운 설계 안에 대하여 수치해석적으로 연구하였다. 내경 0.3mm 정도인 원관 외부에 히터선을 일정 폭 권선하고, 히터로부터 일정거리 떨어진 후류에 온도계측용 써미스터선을 권선하는 형상이다. 히터에 단일펄스 가열을 하면 일정시간 경과 후 써미스터가 최고온도를 겪는다. 최고온도까지 걸리는 시간은 질량유량과 거의 반비례하며, 이를 이용하여 질량유량을 계측할 수 있다. 관벽을 통한 전도열전달과 액체유동에 의한 대류열전달이 복합적으로 작용하므로 관내유동의 평균속도와 관벽을 통한 최고온도의 이동속도는 큰 차이를 나타내며, 상호 비선형적인 특성을 보인다. 본 연구에서는 센서관의 내·외경, 히터의 권선폭 및 히터와 써미스터 사이의 거리를 설계변수로 고려하여 수치해석적으로 제안한 설계사항을 분석하였으며, 설계인자의 최적화에 대한 검토를 수행하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과 및 검토
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Toda, K. / 1998 / Characteristics of a Thermal Massflow Sensor in Vacuum Systems / Sensors and Actuators A 69 : 62 ~ 67
2. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. J. / 2001 / Experimental and Numerical Analysis of Heat Transfer Phenomena in a Sensor Tube of a Mass Flow Controller / Int. J. Heat Mass Transfer 44 : 1711 ~ 1724
3. [학술지(정기간행물)] - Viswanathan, M. / 2002 / Development, Modeling and Certain Investigations on Thermal Mass Flow Meters / Flow Measurement and Instrumentation 12 : 353 ~ 360
4. [학술지(정기간행물)] - Kim, D. K. / 2007 / Study on the Steady-state Characteristics of the Sensor Tube of a Thermal Mass Flow Meter / Int. J. Heat Mass Transfer 50 : 1206 ~ 1211
5. [학술지(정기간행물)] - Cheesewright, R. / 2003 / The Dynamic Response of Coriolis Mass Flow Meters / J. Fluids and Structures 18 : 165 ~ 178
2. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. J. / 2001 / Experimental and Numerical Analysis of Heat Transfer Phenomena in a Sensor Tube of a Mass Flow Controller / Int. J. Heat Mass Transfer 44 : 1711 ~ 1724
3. [학술지(정기간행물)] - Viswanathan, M. / 2002 / Development, Modeling and Certain Investigations on Thermal Mass Flow Meters / Flow Measurement and Instrumentation 12 : 353 ~ 360
4. [학술지(정기간행물)] - Kim, D. K. / 2007 / Study on the Steady-state Characteristics of the Sensor Tube of a Thermal Mass Flow Meter / Int. J. Heat Mass Transfer 50 : 1206 ~ 1211
5. [학술지(정기간행물)] - Cheesewright, R. / 2003 / The Dynamic Response of Coriolis Mass Flow Meters / J. Fluids and Structures 18 : 165 ~ 178
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