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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2010년도 추계학술대회 초록집
발행연도
2010.11
수록면
55 - 55 (1page)

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최근 태양전지에 대한 연구가 본격적으로 진행 중인 가운데 Local back contact 태양전지에 대한 연구가 새로운 이슈로 떠오르고 있다. LBC 구조의 태양전지는 후면 passivation에 대한 최적화 공정이 가장 중요하다. 후면 passivation으로 사용되는 물질로는 SiO₂, SiNx, Al₂O₃ 등의 산화막이 대표적이다. 본 연구에서는 LBC 구조 태양전지의 후면 passivation 박막으로 사용되는 SiO₂ 산화막의 공정가변에 따른 박막의 특성을 비교 분석하였다. SiO₂ 성장은 RTP를 사용하였 ... 전체 초록 보기

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