반도체공정에서 사용되는 화학물질의 반응위험성 평가

이근원

한국가스학회 학술대회논문집

2015 .07

전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소(NF₃) 분해

류재용 ,  최창용 ,  김종범 외 4명

대한환경공학회지

2012 .06

반도체용 CHEMICAL

정재근

공기청정기술

1990 .01

반도체용 유기 · 고분자 전자재료

차혁진

고분자 과학과 기술

1996 .12

반도체 패키징에서 사용되는 표면 처리 공정

서민석

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Basics and Trend of Semiconductor Lithography

Hye-Keun Oh

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

반도체 디바이스 제조 공정에서의 전기화학적 현상

황응림

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

반도체 재료기술의 최근 동향 - 실리콘 반도체 재료를 중심으로 -

민석기

전자공학회잡지

1981 .12

반도체 증착공정 원료물질의 열안정성

한인수 ,  이근원

한국가스학회 학술대회논문집

2016 .06

마이크로패턴 정밀도 향상을 위한 Maskless Lithography 공정에 관한 연구

김운용 ,  임동욱 ,  김지훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

반도체 생산공정의 대기질 개선을 위한 복합 대기오염물의 습식화학 제거공정

전창성 ,  김학주 ,  박영무 외 4명

청정기술

2007 .06

반도체 제조 공정용 노광장비의 생산성 개선을 위한 챔버 최적설계에 관한 해석적 연구

이주성 ,  강훈 ,  정종호 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2013 .11

반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델

한주윤 ,  정봉주

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2001 .11

반도체 공정에서의 환경친화형 프로세스

정해도 ,  김호윤

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .09

유기반도체 재료

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘

복진광 ,  이승권 ,  문성득 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .12

반도체 제조공정의 암모니아가스 제거용 화학첨착흡착제 제조공정개발

임계규 ,  장세환

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12