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자료유형
학술저널
저자정보
응웬덕칸 (숭실대학교) 안형준 (숭실대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.10
발행연도
2014.10
수록면
929 - 934 (6page)

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Reaction force compensation (RFC) mechanism can relieve the vibration of base system caused by acceleration and deceleration of mover. In this paper, we propose a new passive RFC mechanism with a movable additional mass to reduce vibration of the system base as well as displacement of the magnet track. First, equation of motion for the new passive RFC mechanism is derived and simulated to tune design parameters such as masses and spring coefficients. Simulation results show that the vibration of the system base of the stage with the new RFC mechanism.
#Linear Motor Motion Stage (선형 모터 모션 스테이지) #Reaction Force Compensation Mechanism (반발력 보상 기구) #Additional Movable Mass (추가 이동 질량)

목차

1. 서론
2. 1자유도 베이스 모델을 포함한 기존 반발력 보상 기구
3. 추가 이동 질량을 이용한 새로운 반발력 보상 기구
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Dijkstra, B. G. / 2001 / Input Design for Optimal Discrete Time Point-To-Point Motion of an Industrial XY-Positioning Table / Selected Topics in Signals, Systems and Control 12:9~14 google schola Tseng, Y. T. / 2003 / High-speed and Precise Positioning an X-Y Table / Control Engineering Practice 11(4):357~365 google schola 장준원 / 2008 / 위치결정 스테이지의 고속 정밀 위치결정을 위한 입력성형명령 생성 기법 / 한국정밀공학회지 25(10):122~129 dbpia Greene, P. M. / 2005 / Reaction Force Transfer System / US Patent, No. US006844635B2 google schola Lee, M. E. / 1998 / Guideless Stage with Isolated Reaction Frame / US Patent, No. US005744924A google schola

이 논문의 저자 정보

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