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이용수
Abstract
1. 서론
2. LVCM의 원리
3. 시스템의 구성
4. 설계를 위한 간략한 자계해석
5. LVCM의 고속 고정밀 위치 제어
6. 속도 Profile에 대한 Pick-Up의 응답
7. 결론
8. 연구 계획
9. 후기
10. 참고문헌
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