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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2004년도 추계학술대회논문집
발행연도
2004.11
수록면
121 - 124 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

초정밀 자기부상 스테이지용 능동진동제어시스템 설계
이주훈 ,  김용주 ,  손성완 외 3명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.11 학술대회자료
초정밀 스테이지용 능동 진동제어시스템 설계
이주훈 ,  이세한 ,  황돈하 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2004.07 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 자기부상 스테이지 시스템
3. 진동특성
4. 제어시스템
5. 결론
참고문헌

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