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자료유형
학술저널
저자정보
이효선 (대진대학교) 주성후 (대진대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제47권 제3호
발행연도
2014.6
수록면
99 - 103 (5page)

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The encapsulation method of flexible organic light emitting devices (OLEDs) was investigated for the structure of ITO / 2-TNATA / NPB / Alq₃ : Rubrene (1 vol.%) / Alq₃ / LiF / Al / Alq₃ / LiF / Al (OLED #1), on which SiNx thin film was deposited and metal film was attached to protect the damage of OLED from oxygen and moisture. The SiN<SUB>x</SUB> thin film was deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method using SiH4 of 20 sccm and N₂ of 15~35 sccm as reactor gases. The optimum SiN<SUB>x </SUB>deposition condition was found to be 20 sccm SiH₄ and 20 sccm N₂ from the Ca test of the fabricated SiN<SUB>x</SUB> thin film. The life time of OLED #1, OLED #1 / SiN<SUB>x</SUB> 200 nm, OLED #1 / SiN<SUB>x</SUB> 400 nm and OLED #1 / SiN<SUB>x</SUB> 400 nm / metal film was 7, 12, 25, and 45 hours, respectively. In conclusion, it has been shown that the lifetime of OLEDs can be improved more than 6 times by SiN<SUB>x</SUB> film and a metal film encapsulation.
#OLED #Encapsulation #Flexible #SiNx #Metal film

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - P. L. Chang / 2012 / / Displays 33 : 68 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 안오진 / 2010 / RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AlOx 봉지 박막을 갖는 OLED 소자의 수명 특성 / 한국표면공학회지 43 (6) : 272 ~ 277 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. Ummartyotin / 2012 / / Industrial Crops and Products 35 : 92 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - H. H. Yu / 2005 / / Optics Communications 248 : 51 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - A. R. Cho / 2014 / / Synthetic Metals 193 : 77 ~ google schola

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