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저자정보
이종명 (경상대학교) 김용휘 (경상대학교) 하정민 (경상대학교) 구동식 (경상대학교) 황호준 (경상대학교) 최병근 (경상대학교)
저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2011년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2011.10
수록면
264 - 270 (7page)

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2011

루츠타입 진공펌프 동특성의 해석적 평가
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루츠타입 진공펌프의 동특성 평가
이종명 ,  김용휘 ,  하정민 외 3명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2011.10 학술대회자료

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The goal of this study is a stability evaluation through eigenvalue and rotor dynamics analysis of the vacuum pump. The vacuum pump used is a roots type pump, one of the dry middle vacuum pumps, is necessary at the procedure to produce semiconductor and display. The eigenvalue evaluation is solved by numerical analysis through using Modal test and 2D?3D models. Both the experiment and the analysis result are similar, the analysis result using 2D is more oculate the 3D model comparing with test result. So rotor dynamic evaluation is performed through using 2D model. Rotor dynamic evaluation used the campbell diagram and root locus map which were acquired by complex eigenvalue analysis. And we checked minimum clearance of vacuum pump composition between two rotors through unbalance response analysis. Thus, vacuum pump, the target object of this study, was evaluated to be operated stably.
#Vacuum pump(진공펌프) #Natural frequency(고유진동수) #Rotor dynamics(회전체동역학)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 해석 모델 및 재료 물성치
3. Modal Test 및 고유진동수 해석
4 동특성 평가
5. 결론
참고문헌

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