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저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제17권 제6호
발행연도
2007.6
수록면
515 - 523 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

상판 위 질량의 순간적인 움직임에 의해 가진되는 6-자유도 공압제진대의 진동 응답에 대한 연구
선종오 ,  신윤호 ,  김광준 한국소음진동공학회논문집 2007.06 학술저널
상판 위 질량의 순간적인 움직임에 의해 가진되는 6-자유도 공압제진대의 진동 응답에 대한 연구
선종오 ,  신윤호 ,  김광준 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2007.03 학술대회자료

초록· 키워드

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As environmental vibration requirements on precision equipments get more stringent, use of pneumatic vibration isolators becomes more crucial and, hence, their dynamic performance needs to be further improved. Dynamic behavior of those pneumatic vibration Isolation tables is very important to both manufacturer and customer as performance specifications. Together with conventional transmissibility, transient response characteristics are another critical performance index especially when movements of components, e.g., x-y tables, of the precision equipments are very dynamic. In this paper, analysis on transient response of a pneumatic vibration isolation table loaded by a mass moving on it is presented. This is a conventional dynamics problem on a rigid body with 6 degree of freedom and a mass with another degree of freedom. How to obtain transient responses of the isolation table is described when the movements of the mass are prescribed relative to the table.
#공압제진대 #과도응답 #이동질량 #이송대 #Moving Mass #Pneumatic Isolator #Transient Response #XY-stage

목차

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1. [학술대회논문] - Gordon, C. G. / / Generic Vibration Criteria for Vibration-sensitive Equipment / Proceedings of SPIE google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Ungar, E. E. / 1990 / Vibration Control Desing of High Technology Facilities / Sound and Vibration google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Lee, J.-H. / 2007 / Modeling of nonlinear complex stiffness of dual-chamber pneumatic spring for precision vibration isolations / JOURNAL OF SOUND AND VIBRATION 301 (3-5) : 909 ~ 926 google schola 4. [학위논문] - Oh, K.-Y. / 2006 / The Performance Enhancement of Pneumatic Vibration Isolator in Low Frequency by Time Delay Control / 석사 / KAIST google schola 5. [단행본] - Greenwood, D. T. / 2003 / Advanced Dynamics google schola

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