랜덤 제조 오차를 고려한 모드 편재계수를 최소화하는 반복 배열 마이크로 공진기의 최적설계

김욱태; 이종원

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김욱태 이종원

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제15권 제8호

발행연도: 2005.8

수록면: 931 - 938 (8page)

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2005

랜덤 제조 오차를 고려한 모드 편재계수를 최소화하는 반복 배열 마이크로 공진기의 최적설계

김욱태 , 이종원 한국소음진동공학회논문집 2005.08 학술저널

랜덤 제조 오차를 고려한 모드 편재계수를 최소화하는 반복 배열 마이크로 공진기의 최적설계

김욱태 , 이종원 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2005.05 학술대회자료

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This paper presents a robust optimal design method for a periodic structure type of MEMS resonator that is vulnerable to mode localization. The robust configuration of such a MEMS resonator to fabrication error is implemented by changing the regularity of periodic structure For the mathematical convenience, the MEMS resonator is first modeled as a multi-pendulum system. The index representing the measure of mode variation is then introduced using the perturbation method and the concept of modal assurance criterion. Finally, the optimal intentional mistuning, minimizing the expectation of the irregularity measure for each substructure, is determined for the normal distributed fabrication error and its robustness in the design of MEMS resonator to the fabrication error is demonstrated with numerical examples.

#강건 설계 #마이크로 공진기 #모드 편재 #모드 편재 계수 #반복 구조물 #제조오차 #Fabrication Error #MEMS Resonator #Mode Localization #Mode Localization Factor #Periodic Structures #Robust Design

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[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Mechanically Corner-coupled Square Microresonator Array for Reduced Series Motional Resistance The 12th International Conference on Solid State Sensors

[학술지(정기간행물)] - / / Vibration Problems in Engineering 4th edition : 481 ~ 502

[학술지(정기간행물)] - / / Advanced Mechanics of Materials : 266 ~ 271

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Vibration Localization of Simplified Mistuned Cyclic Structures Undertaking External Harmonic Force 261 : 859 ~ 870

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김욱태

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이종원

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 항공우주공학 TOP 10%

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