Trends in design optimization for MEM , Materials , and Structures

Nobo ,  u Kikuchi

대한기계학회 기타 간행물

1996 .11

Design and Fabrication of Metallic MEMS

Ming YANG ,  Satoshi Ogata ,  Ken-ichi MANABE 외 1명

기타자료

2008 .09

단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발

성기은 ,  유지영 ,  이세헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

지능재료를 이용한 3-D MEMS의 제작

김재환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .12

MEMS 제작기술을 이용한 미세 힘센서 설계 및 제작

김종호 ,  조운기 ,  박연규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

압전 MEMS 발전기 설계 및 제작

남운우 ,  박종철 ,  박재영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

압전 MEMS 발전기 설계 및 제작

남운우 ,  박종철 ,  박재영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

MEMS 기술에 의한 광스위치의 제조 ( Fabrication of Optical Switches Using MEMS Technology )

강호관 ,  문성욱 ,  임상호 외 4명

한국통신학회 기타 간행물

1998 .01

MEMS 기술

엄태준

기계저널

2007 .05

The Estimation of MEMS Properties

Jeongick Lee

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2008 .01

[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요

최창경 ,  도덕희

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

Demonstration of Alternative Fabrication Techniques forRobust MEMS Device

Heung Shik Lee ,  Doo Yeol Cha ,  장성필 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2006 .01

MEMS : From Research to Applications

H. Sandmaie ,  W. Lang

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

초소형 MEMS 마이크로폰의 설계 및 공정 기술

허신 ,  이영화 ,  최홍수 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

MEMS 기술의 센서 응용

문성욱

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

2001 .11

Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies

Li ,  G.P. ,  Bachman 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium

2004 .01

생산기술로서의 MEMS

이승섭

기계저널

2009 .03

MEMS 기술의 소개 및 응용

김용협 ,  연순창

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

MEMS 기반의 IR CO₂ 센서 제작 및 특성 평가

金信槿 ,  韓龍熙 ,  文盛昱

전기학회논문지 C

2005 .05

MEMS Research at SAIT : Toward Robust Design of MEMS

이석한

대한기계학회 춘추학술대회

2000 .01