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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제15권 제1호
발행연도
2005.1
수록면
12 - 19 (8page)

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This paper proposed a dual actuator using Bimorph PZT for information storage device based on prove array NSOM(near-field scanning optical microscopy). The gap between the media and the optical head should be maintained within the optical tolerance. Therefore, a new actuator having high sensitivity is required. Bimorph PZT, which has fast access time and high sensitivity characteristic, is suitable for this precise actuating system. This paper is focused on derivation of mathematical model of dual Bimorph PZT actuator and control algorithm. Hamilton's principle was used for mathematical model. The model is verified by FEA(finite element analysis), and compared with experimental results. Different control algorithms were used for two Bimorph PZT actuating same direction and opposite direction. The gap between recording media and optical head was controlled within 20nm in experiment.
#2단 구동기 #간극 제어 #Bimorph PZT #Dual Actuator #Gap Contro #NSOM(Near-field Scanning Optical Microscopy)

목차

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