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저자정보
Faisal Iqbal (Korea University of Technology and Education) Hussamud Din (Korea University of Technology and Education) Byeungleul Lee (Korea University of Technology and Education)
저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.19 No.6
발행연도
2019.12
수록면
600 - 607 (8page)
DOI
10.5573/JSTS.2019.19.6.600

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Recently, the demand for microelectromechanical systems (MEMS) based inertial sensors has been increased due to a wide range of application in consumer electronics; however, high volume production remains a major challenge for the MEMS industry. This paper proposes a new three dimensional (3-D) test methodology for the time-efficient evaluation of multi-axis MEMS gyroscopes. A mathematical model for the proposed 3-D test method was derived based on the coordinates transformation. The 3-D test methodology was validated experimentally using three-axis MEMS gyroscope from ST Microelectronics and the results were compared with the conventional one dimensional (1-D) test method. The experimental results revealed that the measurement error between the conventional 1-D and the proposed 3-D test was less than 1%, whereas the test time was decreased three times. Finally, the error sources and limitations of the proposed 3-D test method was highlighted.
#MEMS #3-D test method #gyroscope evaluation

목차

Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. METHODOLOGY
Ⅲ. EXPERIMENTAL RESULTS AND DISCUSSION
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
G. Wu, B. Han, D. D. Cheam, L. C. Wai, P. H. K. Chang, N. Singh, et al., Development of Six- Degree-of-Freedom Inertial Sensors With an 8-in Advanced MEMS Fabrication Platform, IEEE Transactions on Industrial Electronics, vol. 66, pp. 3835-3842, 2019. google schola S. Nasiri, S. Winkler, and R. Ramadoss, Nasiri Fabrication Process for Low-Cost Motion Sensors in the Consumer Market, Mems Packaging, vol. 5, p. 73, 2018. google schola M. Perlmutter and L. Robin, High-performance, low cost inertial MEMS: A market in motion!, in Proceedings of the 2012 IEEE/ION Position, Location and Navigation Symposium, 2012, pp. 225-229. google schola G. Zhanshe, C. Fucheng, L. Boyu, C. Le, L. Chao, and S. Ke, Research development of silicon MEMS gyroscopes: a review, Microsystem Technologies, vol. 21, pp. 2053-2066, 2015. google schola F. Iqbal, H. Din, and B. Lee, Single Drive Multi- Axis Gyroscope with High Dynamic Range, High Linearity and Wide Bandwidth, Micromachines, vol. 10, p. 410, 2019. google schola

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